[发明专利]利用定量质量系统的不同成分气体绝对量测定系统

摘要

本发明涉及一种利用定量质量系统的不同成分气体绝对量测定系统，更详细地，涉及一种仅以通过针孔流入的微量气体不仅能够进行正确的定性分析，而且还能进行定量分析的利用定量质量系统的不同成分气体绝对量测定系统。限据本发明，通过提高产品的生产性，并有效地进行生产管理来提供用于提高产业竞争力的效果。

主权项

一种利用定量质量系统的不同成分气体绝对量测定系统，其特征在于，包括：主腔室(100)，其储存通过针孔流入的试样气体；定量质量系统(200)，其用于测定储存在主腔室的试样气体的不同成分分压；电离压力计(400)，其与主腔室相连接，实时测定主腔室的真空度；涡轮泵泵站(800)，其用于排出借助上述定量质量系统测定后储存在主腔室的试样气体；针孔(700)，其用于使试样气体以分子流状态输入到定量质量系统；第一阀(1000)，其设置在用于连接上述针孔与分子腔室的管道；质量流量计(500)，其与分子腔室相连接，用于测定分子腔室的内部的绝对变化压力；分子腔室(300)，其用于储存经过第三阀及第二阀输入的试样气体；第二阀(1100)及第三阀(1200)，为了形成可将试样气体少量地向分子腔室进行细分的物理空间而设置构成；第四阀(1300)，其与上述分子腔室相连接，用于将储存在分子腔室的试样气体向第二涡轮泵传递；第二涡轮泵(810)，其用于排出在测定结束后留在上述分子腔室的残余试样气体；旋转式泵(900)，其用于迅速处理储存在试样室(600)的试样气体。