[发明专利]用于模拟真空设备用的圆形线圈的部分线圈系统有效
| 申请号： | 201080052526.4 | 申请日： | 2010-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN102770936A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | S·克拉斯尼策尔 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 汲长志;杨国治 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空处理腔室，其具有用于在所述腔室中构造磁场的线圈装置，其中所述线圈装置包括至少一个第一部分线圈和一个第二部分线圈，其中所述第一部分线圈和第二部分线圈在横截面中如此并排地优选放置在一个平面中，从而使得所述第一线圈的至少各一个部分区段基本上遵循所述第二线圈的部分区段延伸，其中所述第一部分区段与第二部分区段的间距比部分线圈的以及必要时更小的部分线圈的横截面小至少一个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模拟 真空 备用 圆形 线圈 部分 系统 | ||
【主权项】：
真空处理腔室，其具有用于在所述腔室中构造磁场的线圈装置，其中所述线圈装置包括至少一个第一部分线圈和一个第二部分线圈，其中所述第一部分线圈和第二部分线圈在横截面中如此并排地优选放置在一个平面中，从而使得所述第一线圈的至少各一个部分区段基本上遵循所述第二线圈的部分区段延伸，其中所述第一部分区段与第二部分区段的间距比部分线圈的以及必要时更小的部分线圈的横截面小至少一个数量级。
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