[发明专利]碳材料及其制造方法有效
申请号: | 201080052768.3 | 申请日: | 2010-09-22 |
公开(公告)号: | CN102666375A | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 石井琢悟;濑谷薰;松永纮明;武田章义 | 申请(专利权)人: | 东洋炭素株式会社 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张宝荣 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种尤其在使用卤素气体进行处理的情况下也能够抑制处理后的杂质的放出的碳材料及其制造方法。将碳材料在1Pa以上且10000Pa以下的减压下的H2气体气氛中以500℃以上且1200℃以下进行退火处理。退火处理时间为1分钟以上且20小时以下。由此,能够使氯等卤素的放出浓度为5ppb以下。 | ||
搜索关键词: | 材料 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种碳材料,其特征在于,放出的氯的浓度为5ppb以下。
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