[发明专利]加速度传感器

摘要

本发明提供一种加速度传感器，具备传感器部，该传感器部包括：重物部，一体地形成有在一面上开口的凹部和除了上述凹部以外的实心部；一对梁部，转动自如地支撑上述重物部以使上述凹部和上述实心部沿着转动方向排列；可动电极，在与凹部开口的上述一面不同的另一面上横跨上述凹部和上述实心部设置；第1固定电极，配设在上述可动电极的与上述凹部侧对置的位置；以及第2固定电极，配设在上述可动电极的与上述实心部侧对置的位置，上述加速度传感器根据伴随着以连结一对上述梁部的直线为转动轴的上述重物部的转动的、上述可动电极与上述固定电极之间的静电电容的变化，来检测加速度，其特征在于，将上述梁部向上述凹部侧错开配置，以使从上述重物部的重心位置向上述转动轴引下的垂线与上述可动电极的表面所成的角度为大致45度。

主权项

一种加速度传感器，具备传感器部，该传感器部包括：重物部，一体地形成有在一面上开口的凹部和除了上述凹部以外的实心部；一对梁部，转动自如地支撑上述重物部以使上述凹部和上述实心部沿着转动方向排列；可动电极，在与凹部开口的上述一面不同的另一面上横跨上述凹部和上述实心部设置；第1固定电极，配设在与上述可动电极的上述凹部侧对置的位置；以及第2固定电极，配设在与可动电极的上述实心部侧对置的位置，上述加速度传感器根据伴随着以连结一对上述梁部的直线为转动轴的上述重物部的转动的、上述可动电极与上述固定电极之间的静电电容的变化，来检测加速度，其特征在于，将上述梁部向上述凹部侧错开配置，以使从上述重物部的重心位置向上述转动轴引下的垂线与上述可动电极的表面所成的角度为大致45度。