[发明专利]DBD电极的极化方法和装置有效
| 申请号： | 201080053108.7 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102668721A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | E·米歇尔;E·蒂克霍;J·勒克莱尔克 | 申请（专利权）人： | 旭硝子欧洲玻璃公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于通过能够产生丝状等离子体的介质阻挡放电来处理基体的表面的装置，该装置包括反应室，反应室包括混合物，混合物的成分使得在接触等离子体后混合物分解并产生能够在基体上大部分或全部沉积成涂层的化学品种，其中之一带有高压AC的至少两个电极布置在反应室中，所述至少两个电极位于基体的两侧，至少一介质阻挡（DBD）布置在所述至少两个电极之间，并且所述装置包括具有次级电路的THT/HF变压器，其中，一直流电源（DC）串联插在次级电路中，使得在等离子体中产生的呈正电离子或负电离子形式的化学品种被靶基体有选择地吸引并且被带有相应电荷的电极排斥，所述靶基进入反应室中并且布置在所述至少两个电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | dbd 电极 极化 方法 装置 | ||
【主权项】：
用于通过能够产生丝状等离子体的介质阻挡放电来处理基体的表面的装置，所述装置包括反应室，所述反应室包括混合物，所述混合物的成分使得在接触等离子体后混合物分解并产生能够在基体上大部分或全部沉积成涂层的品种，其中之一带有高压AC的至少两个电极布置在所述反应室中，所述至少两个电极位于基体的两侧，至少一介质阻挡（DBD）布置在所述至少两个电极之间；并且所述装置包括具有次级电路的THT/HF变压器，其特征在于，一直流电源（DC）串联插在所述次级电路中，使得在等离子体中产生的呈正电离子或负电离子形式的化学品种被靶基体有选择地吸引并且被带有相应电荷的电极排斥，所述靶基体进入所述反应室中并布置在所述至少两个电极之间。
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