[发明专利]压力式流量控制装置

摘要

提供一种即使是温度为100℃～500℃的高温气体、也能够使用以往的温度检测器进行误差为1.0%F.S.以下的高精度的流量控制的高温气体用压力式流量控制装置。具有：阀身（VD），形成有流体通路（15、16）；阀部（V），夹设在流体通路中；阀驱动部（PE、21），驱动阀部（V）将流体通路开闭；节流机构，设在流体通路的阀部的下游侧；温度检测器（TC），检测阀部与节流机构之间的气体温度；压力检测器（P），检测阀部与节流机构之间的气体压力；运算控制装置，基于温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制阀驱动部；将温度检测器（TC）插装到从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内。

主权项

一种压力式流量控制装置，其特征在于，具有：阀身，形成有流体通路；阀部，夹设在上述流体通路中；阀驱动部，驱动上述阀部而将上述流体通路开闭；节流机构，设在上述流体通路的上述阀部的下游侧；温度检测器，检测上述阀部与上述节流机构之间的气体温度；压力检测器，检测上述阀部与上述节流机构之间的气体压力；运算控制装置，基于上述温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制上述阀驱动部；上述温度检测器插装在从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在上述阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内。