[发明专利]机动载物台有效

专利信息
申请号: 201080055295.2 申请日: 2010-10-16
公开(公告)号: CN102640032A 公开(公告)日: 2012-08-15
发明(设计)人: 杰弗里·S·布鲁克;保罗·查韦斯;基斯·迪斯;罗宾·爱丁顿 申请(专利权)人: 索雷博股份有限公司
主分类号: G02B21/26 分类号: G02B21/26;H01J37/20;H02K41/02
代理公司: 上海市华诚律师事务所 31210 代理人: 梅高强;崔巍
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种载物台,其包括具有第一运动轴的第一平移平台,和具有第二运动轴的第二平移平台,用于在第一运动轴上驱动第一平移平台的第一线型驱动马达,和用于在第二运动轴上驱动第二平移平台的第二线型驱动马达,其中,每个线型驱动马达进一步包括围绕杆定子的线圈组件,其中,线圈组件被固定并且杆定子能够在线圈组件内移动。
搜索关键词: 机动 载物台
【主权项】:
一种载物台,其特征在于,包括:基板、第一平移平台和第二平移平台,所述第一平移平台具有第一运动轴,所述第二平移平台具有第二运动轴;第一线型驱动马达,所述第一线型驱动马达被设置在所述基板和所述第一平移平台之间,并并定向为与所述第一运动轴对齐,且安置在所述基板中的第一腔内;和第二线型驱动马达,所述第二线型马达被设置在所述第一平移平台和所述第二平移平台之间,并且并定向为与所述第二运动轴对齐,并且安置在所述第一平移平台中的第二腔内;其中,每个线型驱动马达进一步包括包围杆定子的线圈组件,所述线圈组件被限制在其各自的腔内,从而所述线圈组件被固定,并且所述杆定子能够在所述线圈组件内移动。
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