[发明专利]掺杂氮的氧化镁内的电阻开关

摘要

掺杂氮的氧化镁(MgO)绝缘层呈现电压控制的电阻状态，如，高电阻状态和低电阻状态。100nm级的图案化纳米装置显示高的可再现开关特性。通过增加氮浓度，可有系统地降低此类装置在两个电阻电平之间切换的电压电平。同样地，通过改变氮浓度，可改变高电阻状态的电阻，和通过改变氮浓度几个百分比，可减少高电阻状态的电阻若干数量级。另一方面，低电阻状态的电阻则几乎不受氮掺杂程度的影响。通过限制在SET(设定)过程期间通过的电流，可在广泛范围中改变单一Mg50O50-xNx层装置的电阻。因而可建构相关的数据存储装置。

主权项

一种装置，包含：电阻开关组件阵列，所述电阻开关组件阵列的每个电阻开关组件与字线和位线电连通，所述电阻开关组件阵列中的每个电阻开关组件包括掺杂N的MgO层，其N含量是该层的至少0.1原子百分比。