[发明专利]具有镀层防护的电子回旋共振等离子体源及该镀层防护的应用无效
| 申请号： | 201080056181.X | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102714126A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 艾可哈特·阿克曼;马里奥·普吕斯特尔 | 申请（专利权）人： | 霍赫劳股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 车文;安翔 |
| 地址： | 德国霍恩施泰*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及电子回旋共振等离子体源，由壳体、中央的波分配器（12）及在壳体与中央的波分配器（12）之间的镀层防护（7）构成。依据本发明，镀层防护（7）由有机的或矿物质的纤维材料制成。纤维材料可以是由玄武岩、碳材质或氧化铝制成的纤维织物或毛毡织物，且镀层防护（7）的面朝等离子体空间的表面可至少部分具有敞开的织物结构。镀层防护可被应用于遮盖任意表面，这些表面暴露给等离子体并且在各所使用的等离子体过程中不应被镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 镀层 防护 电子 回旋 共振 等离子体 应用 | ||
【主权项】：
电子回旋共振等离子体源，由壳体、中央的波分配器（12）及在所述壳体与所述中央的波分配器（12）之间的镀层防护（7）构成，所述中央的波分配器（12）与用于产生高频的装置（13、14）连接，而所述镀层防护（7）至少部分地包围在所述壳体内部的空间，其特征在于，所述镀层防护（7）由有机的或矿物质的纤维材料制成。
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