[发明专利]用于操作工业过程的方法

摘要

一种用于在脉冲功率输出操作中对等离子装置、感应加热装置或激光激发装置进行操作的方法，在功率输出时间段ΔT1内产生第一功率POUT1.1，并且将第一功率POUT1.1在功率发生器的功率输出端释放以用于将功率供应给等离子过程、感应加热过程或激光激发过程，并且通过控制功率发生器的至少一个半导体开关元件（9），在脉冲中断时间段ΔT2内在功率发生器的功率输出端不输出适于等离子过程、感应过程或激光激发过程的触发或操作的功率POUT2.1，在功率输出时间段ΔT1期间在产生第一功率POUT1.1的同时在至少一个半导体开关元件（9）中产生第一功耗PV1，在脉冲中断时间段ΔT2期间在至少一个半导体开关元件（9）中产生第二功耗PV2，并且将所产生的功耗PV1、PV2转换成热量，通过对半导体开关元件的适当控制，防止了半导体开关元件的温度下降超过预定值，并且功率输出操作和脉冲中断操作持续交替进行。

主权项

一种用于在脉冲功率输出操作中对等离子装置、感应加热装置或激光激发装置进行操作的方法，在功率输出时间段ΔT1内产生第一功率POUT1.1，并且将所述第一功率POUT1.1在功率发生器的功率输出端处释放，以将功率供应给等离子过程、感应加热过程或激光激发过程，并且通过控制所述功率发生器的至少一个半导体开关元件（9），在脉冲中断时间段ΔT2内在所述功率发生器的所述功率输出端不输出适于等离子过程、感应过程或激光激发过程的触发或操作的功率POUT2.1，在所述功率输出时间段ΔT1期间在产生所述第一功率POUT1.1的同时在所述至少一个半导体开关元件（9）中产生第一功耗PV1，在所述脉冲中断时间段ΔT2期间在所述至少一个半导体开关元件（9）中产生第二功耗PV2，并且将产生的所述功耗PV1、PV2转换成热量，通过对所述半导体开关元件的适当控制，防止了所述半导体开关元件（9）的温度下降超过预定值，并且所述功率输出操作和所述脉冲中断操作持续交替。