[发明专利]温度测量装置有效
| 申请号： | 201080057941.9 | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN102695947A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 石田寿树;林圣人;东广大 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01K1/18 | 分类号： | G01K1/18;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及的温度测量装置包括基板(2)、配置在基板(2)的一个面上的温度传感器(3)、以及被配置以将使用温度传感器(3)检测温度的电路与温度传感器(3)电连接的引线(8)。在基板(2)的一个面上的温度传感器(3)的周围形成有热容量比形成基板(2)的物质小的凹部(7)。凹部(7)被形成为：与温度传感器(3)相隔预定间隔并围绕温度传感器(3)，并且具有预定宽度和预定深度。低热容区优选是作为截面呈凹状的槽的凹部(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种温度测量装置，包括：基板；配置在所述基板的一个面上的至少一个温度传感器；以及低热容区，该低热容区在所述基板上被形成为：与所述温度传感器间隔预定距离并围绕所述温度传感器，并且具有预定宽度和预定深度；其中，所述低热容区由热容量比形成所述基板的物质的热容量小的物质形成。
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