[发明专利]用于非周期性脉冲连续横向固化的系统和方法

摘要

用于非周期性脉冲连续横向固化的所公开的系统和方法涉及处理薄膜。当使薄膜在选定的方向上前移时用于处理薄膜的方法包括：使用第一激光脉冲和第二激光脉冲照射薄膜的第一区域，以及使用第三激光脉冲和第四激光脉冲照射薄膜的第二区域，其中在第一激光脉冲和第二激光脉冲之间的时间间隔小于在第一激光脉冲和第三激光脉冲之间的时间间隔的一半。在一些实施方案中，每个脉冲提供成形光束并具有足以熔化整个厚度的薄膜以形成熔化区域的注量，熔化区域在冷却时横向结晶。在一些实施方案中，第一区域和第二区域彼此相邻。在一些实施方案中，第一区域和第二区域间隔开一段距离。

主权项

一种用于处理薄膜的方法包括：当使所述薄膜在选定的方向上前移时，使用第一激光脉冲和第二激光脉冲照射所述薄膜的第一区域，每个激光脉冲提供成形光束并具有足以熔化整个厚度的所述薄膜以分别形成第一熔化区域和第二熔化区域的注量，所述第一熔化区域和所述第二熔化区域在冷却时横向结晶，其中第二熔化区域在冷却时结晶以形成一个或多个横向生长的晶体，所述晶体是由所述第一熔化区域形成的一个或多个横向生长的晶体的延伸部分；以及使用第三激光脉冲和第四激光脉冲照射所述薄膜的第二区域，每个脉冲提供成形光束并具有足以熔化整个厚度的所述薄膜以分别形成第三熔化区域和第四熔化区域的注量，所述第三熔化区域和所述第四熔化区域在冷却时横向结晶，其中所述第四熔化区域在冷却时结晶以形成一个或多个横向生长的晶体，所述晶体是由所述第三熔化区域形成的一个或多个横向生长的晶体的延伸部分；其中在所述第一激光脉冲和所述第二激光脉冲之间的时间间隔小于在所述第一激光脉冲和所述第三激光脉冲之间的时间间隔的一半。