[发明专利]用于自由基增强薄膜沉积的氧自由基产生

摘要

一种自由基增强原子层沉积(REALD)的方法包括使基片交替暴露于第一前体气体(224)和从含氧第二前体气体(226)产生的自由基，如单原子氧自由基(O·)，同时保持自由基和第一前体气体空间或暂时分离。当第一和第二前体气体在一般处理条件下为非反应性时，简化反应器设计(210)和过程控制是可能的，因此，可允许在自由基重组或另外消除后混合。在一些实施方案中，第二前体气体(226)为含氧化合物，如二氧化碳(CO2)或氧化亚氮(N2O)或这些含氧化合物的混合物，且不包含显著量正常氧(O2)。

主权项

一种沉积薄膜的方法，所述方法包括：将第一前体气体引入前体室；将包含气体含氧化合物的第二前体气体流注入氧化区域，所述氧化区域不同于前体室，并且由一个或多个流限制通道延伸通过的隔板与其分离，第二前体气体基本与第一前体气体为非反应性，并且不含显著量正常氧气(O2)；从前体室排气，以便至少一些第二前体气体从氧化区域流动通过通道，并进入前体室，从而阻止第一前体气体转移进入氧化区域；使基片在前体室和氧化区域之间沿着输送路径前后输送多次，输送路径延伸通过至少一些通道，并进入前体室，其中第一前体气体作为化学吸附物质化学吸附到基片的表面；并且在接近输送路径的氧化区域从第二前体气体产生等离子体，等离子体包含不稳定氧自由基物质，基片在输送通过氧化区域时暴露于这些不稳定氧自由基物质，不稳定自由基物质与化学吸附物质为反应性。