[发明专利]包括分相共混聚合物的抛光垫及其制备和使用方法

摘要

本发明公开了包含分相共混聚合物的抛光垫以及制备和在抛光工艺中使用此类垫的方法。在一个示例性实施例中，所述抛光垫包括一体地形成在片材中的多个抛光元件。在另一示例性实施例中，所述抛光元件粘结到支承层（例如，通过热粘结）。在某些实施例中，抛光垫还可包括固定到所述支承层的适形层，以及可选的抛光组合物分布层。

主权项

一种纹理化抛光垫，其包括：第一连续聚合物相和第二不连续聚合物相，其中所述抛光垫具有第一主侧面以及与所述第一主侧面相背的第二主侧面，并且其中所述第一和第二主侧面中的至少一个包括延伸到该侧面中的多个凹槽。