[发明专利]单晶生长装置的绝热装置和包括绝热装置的单晶生长装置无效
| 申请号： | 201080060718.X | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN102695822A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 李商勋;吴玹定;崔日洙 | 申请（专利权）人： | LG矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B35/00;C30B29/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了单晶生长装置的绝热装置和包括所述绝热装置的单晶生长装置。所述绝热装置安装在单晶生长装置的腔室内，并且所述绝热装置包括多个以第一距离隔开的绝热块。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 装置 绝热 包括 | ||
【主权项】：
一种绝热装置，所述绝热装置安装在单晶生长装置的腔室内，所述绝热装置包括：多个以第一距离隔开的绝热块。
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