[发明专利]输送车系统无效
| 申请号： | 201080060790.2 | 申请日： | 2010-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN102753458A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 山本真;德本光哉 | 申请（专利权）人： | 村田机械株式会社 |
| 主分类号： | B65G1/00 | 分类号： | B65G1/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王成坤;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 输送车系统（1）具备输送车（3）、CW传感器（57）及制造控制器（21）。输送车（3）在多个装置间输送装入有基板（50）的搬运器（49）。CW传感器（57）检测搬运器（49）内的基板（50）的状态。制造控制器（21）控制输送车（3）的输送，并且如果从CW传感器（57）输入异常信号，就使输送车（3）中止输送搬运器（49）。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 系统 | ||
【主权项】：
一种输送车系统，包括：输送车，用来在多个装置间输送装入了基板的容器；状态检测装置，用来检测所述容器内的所述基板的状态；以及输送控制部，控制所述输送车的输送，并且如果从所述状态检测装置输入异常信号，就中止向目的地输送所述容器。
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