[发明专利]硅真空熔化方法无效
申请号: | 201080060821.4 | 申请日: | 2010-11-17 |
公开(公告)号: | CN102712482A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 金子恭二郎 | 申请(专利权)人: | 金子恭二郎 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明利用具备炉体容器(100)、设在炉体容器(100)内部的水冷铜坩埚(200)、以及保持硅电极(S)的支撑棒(300)的装置。在水冷铜坩埚(200)内隔着规定间隔配置硅电极(S)后,使炉体容器(100)内成为真空状态,通过在硅电极(S)和水冷铜坩埚(200)之间加载电压,使硅电极(S)通电而熔化。将熔化硅(S’)的上部维持在熔化状态的同时,在被冷却的水冷铜坩埚(200)内从底部依次凝固熔化硅(S’)。 | ||
搜索关键词: | 真空 熔化 方法 | ||
【主权项】:
一种硅真空熔化方法,其特征在于,利用具备炉体容器、设在该炉体容器内部的导电性的坩埚、以及保持硅的支撑棒的装置,在上述坩埚内隔着规定间隔配置硅后,使上述炉体容器内成为真空状态,通过在硅和上述坩埚加载电压,将硅作为电极材料进行通电而熔化,将熔化的硅的上部维持在熔化状态的同时,在被冷却的上述坩埚内从底部依次凝固熔化的硅。
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