[发明专利]硅真空熔化方法无效

专利信息
申请号: 201080060821.4 申请日: 2010-11-17
公开(公告)号: CN102712482A 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 金子恭二郎 申请(专利权)人: 金子恭二郎
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 代理人: 刘俊
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明利用具备炉体容器(100)、设在炉体容器(100)内部的水冷铜坩埚(200)、以及保持硅电极(S)的支撑棒(300)的装置。在水冷铜坩埚(200)内隔着规定间隔配置硅电极(S)后,使炉体容器(100)内成为真空状态,通过在硅电极(S)和水冷铜坩埚(200)之间加载电压,使硅电极(S)通电而熔化。将熔化硅(S’)的上部维持在熔化状态的同时,在被冷却的水冷铜坩埚(200)内从底部依次凝固熔化硅(S’)。
搜索关键词: 真空 熔化 方法
【主权项】:
一种硅真空熔化方法,其特征在于,利用具备炉体容器、设在该炉体容器内部的导电性的坩埚、以及保持硅的支撑棒的装置,在上述坩埚内隔着规定间隔配置硅后,使上述炉体容器内成为真空状态,通过在硅和上述坩埚加载电压,将硅作为电极材料进行通电而熔化,将熔化的硅的上部维持在熔化状态的同时,在被冷却的上述坩埚内从底部依次凝固熔化的硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金子恭二郎,未经金子恭二郎许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201080060821.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top