[发明专利]生产三氯硅烷的系统和方法在审

专利信息
申请号: 201080060883.5 申请日: 2010-11-04
公开(公告)号: CN102741167A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 斯科特·法伦布鲁克;布鲁斯·黑兹尔坦 申请(专利权)人: GTAT有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107;B01J12/00
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 张淑珍;梁兴龙
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明针对合成三氯硅烷的系统和方法。所公开的系统和方法可包括在三氯硅烷合成期间提高浆液中的固体浓度,从而回收或分离挥发的金属盐并减少由下游操作中的金属盐固化作用产生的阻塞。本发明可包括通过利用不可凝气体(如氢气)提高浆液流中的固体浓度而使氯硅烷组分挥发(而非加热来提高温度,从而使氯硅烷化合物发生汽化,并接着使挥发后的氯硅烷化合物冷凝),可因此对能够降低浆液温度的蒸发条件具有促进作用。较低的浆液温度使得金属盐的挥发性较低,降低了转移至下游单元操作的可能性。
搜索关键词: 生产 硅烷 系统 方法
【主权项】:
制备三氯硅烷的方法,所述方法包括:向反应器中引入反应物混合物,所述反应物混合物包含四氯化硅和氢气;从所述反应器中回收第一粗产物,所述第一粗产物包含三氯硅烷、四氯化硅、氢气、硅和金属盐;从所述第一粗产物中分离至少部分硅和金属盐,产生第二粗产物和第一残留物,所述第二粗产物包含三氯硅烷、四氯化硅和氢气,所述第一残留物包含三氯硅烷、四氯化硅、硅和金属盐;以及使至少部分所述第一残留物与接触气体进行接触,产生富含固体的残留物和蒸气产物,所述蒸气产物包含三氯硅烷和四氯化硅,所述富含固体的残留物包含硅和金属盐。
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