[发明专利]由冶金硅制备三氯硅烷的闭环方法无效
| 申请号： | 201080061836.2 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102753477A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | Y·厄纳尔;R·马尔茨科恩;I·保利;I·伦特-里格;G·施托赫尼奥尔 | 申请（专利权）人： | 赢创德固赛有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;林森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由冶金硅制备三氯硅烷和四氯化硅的多级方法，其中，在第一步中，由冶金硅制备三氯硅烷和四氯化硅，在第二步中，进一步处理四氯化硅以形成最终产物三氯硅烷。本发明还涉及一种可在其中整体实施该方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 冶金 制备 硅烷 闭环 方法 | ||
【主权项】：
由四氯化硅通过用氢气加氢脱氯来制备三氯硅烷的方法，其中将至少一种含有四氯化硅的原料料流(1)和至少一种含氢的原料料流(2)导入加氢脱氯反应器(3)中，和在其中通过供入热量使原料和产物之间的热力学平衡位置向产物方向移动，并将其中含有四氯化硅、三氯硅烷、氢和HCl的产物料流(4)从加氢脱氯反应器(3)导出，其特征在于通过热交换器(5)冷却产物料流(4)，并预热被引导经过相同的热交换器(5)中的含有四氯化硅的原料料流(1)和/或含氢的原料料流(2)。
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