[发明专利]集成电气组件的双传感器温度稳定

摘要

用于将置于热炉中的集成电气组件的温度（Tcomp）稳定在预定义温度（Tset）的方法和系统（1）。集成电气组件的温度通过温度感测装置来感测，该温度感测装置包括：定位成与集成电气组件有良好热接触的第一或第二感测元件（61、62），该第一或第二感测元件（61、62）具有第一或第二温度相关特性（63、64），第二温度依赖性与第一温度依赖性不同以致第一和第二特性（63、64）在预定义温度（Tset）下相交；以及适于感测第一和第二感测元件（61、62）、并且向确定加热装置的控制信号的控制电路（71）供应指示第一或第二温度相关特性（63、64）的第一或第二测量信号（83、84）的感测电路（72）。

主权项

一种用于将集成电气组件的温度（Tcomp）稳定在预定义温度（Tset）的炉稳系统（1），所述系统（1）包括：‑用于将所述炉稳系统加热到热炉温度（Toven）的加热装置（21）；‑置于所述热炉（2）中的电气设备（7），所述电气设备（7）包括所述集成电气组件，所述集成电气组件具有温度相关特性（f）；‑用于感测所述集成电气组件的温度（Tcomp）的温度感测装置（61、62、72）；‑控制电路（71），其连接到用于接收指示所感测温度（Tcomp）的测量信号（83、84）的所述温度感测装置（61、62、72）、并且连接到所述加热装置（21）用于向其供应控制信号（80）以将所述集成电气组件的温度（Tcomp）维持在所述预定义温度（Tset）；其特征在于，所述温度感测装置包括：‑定位成与所述集成电气组件有良好热接触的第一或第二感测元件（61、62），从而所述感测元件（61、62）具有与所述集成电气组件基本相同的温度（Tcomp），所述第一或第二感测元件（61、62）具有第一或第二温度相关特性（63、64），所述第二温度依赖性与所述第一温度依赖性不同以使所述第一和第二特性（63、64）在所述预定义温度（Tset）下相交；‑适于感测所述第一和第二感测元件（61、62）、并且向控制电路（71）供应指示所述第一或第二温度相关特性（63、64）的第一或第二测量信号（83、84）的感测电路（72）。