[发明专利]环境敏感器件无效
| 申请号： | 201080062528.1 | 申请日： | 2010-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN102712466A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | F.S.区;Z.李;H.P.扩;M.胡 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;G01N21/65;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马永利;李家麟 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种环境敏感器件（10，10’，10’’）被公开。所述器件（10，10’，10’’）包括：基板；建立在所述基板上的三维结构（24，24’，24’’）；建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第一部分（P1）上的第一涂层（28）；以及建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第二部分（P2）上的第二涂层（30）。所述第一和第二涂层（28，30）包含被配置成在被暴露于预定外部刺激时做出不同响应的不同材料。 | ||
| 搜索关键词： | 环境 敏感 器件 | ||
【主权项】：
一种环境敏感器件（10，10’，10’’），包括：基板（14）；建立在所述基板（14）上的三维结构（24，24’，24’’）；建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第一部分（P1）上的第一涂层（28）；以及建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第二部分（P2）上的第二涂层（30），所述第一和第二涂层（28，30）是被配置成在被暴露于预定外部刺激时做出不同响应的不同材料。
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