[发明专利]操作扫描探针显微镜的方法和装置有效
| 申请号： | 201080062939.0 | 申请日： | 2010-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102844666A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | Y·胡;S·胡;C·苏;J·石;J·马 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 程义贵;王桂玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | AFM成像的改进模式（峰值力轻敲（PFT）模式）使用力作为反馈变量，以减少尖端-样品间相互作用力，同时维持所有现有AFM操作模式可实现的扫描速度。以提高的分辨率和高样品通过量实现了样品成像和机械属性映射，该模式可以在变化的环境（包括气体、液体和真空）中工作。通过消除对于专家用户监视成像的需要而便于容易使用。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 扫描 探针 显微镜 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种操作扫描探针显微镜（SPM）的方法，包括：产生探针与样品之间的周期性相对运动；检测探针的运动；从所检测的探针运动恢复尖端与样品之间的基本上瞬时的力；自动控制所述产生步骤以维持反馈设定点；并且其中所述自动控制步骤包括自动控制对应的反馈环路中的增益。
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