[发明专利]物理量传感器以及物理量测量方法有效
申请号: | 201080065281.9 | 申请日: | 2010-03-10 |
公开(公告)号: | CN102792183A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 上野达也 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尔株式会社 |
主分类号: | G01S17/32 | 分类号: | G01S17/32;G01B11/00;G01S17/50 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及能够以高的分辨率测量物体的位移、速度,且缩短测量所需的时间的物理量传感器以及物理量测量方法。该物理量传感器包括:向物体(10)发射激光的半导体激光器(1);使半导体激光器(1)动作,以使得振荡波长连续地单调增加的第1振荡期间和振荡波长连续地单调减少的第2振荡期间中的至少一个反复存在的激光器驱动器(4);对含有由于从半导体激光器(1)发射的激光和从物体(10)返回的返回光的自混合效应而产生的干涉波形的电信号进行检测的光电二极管(2)和电流-电压变换放大部(5);在每次输入干涉波形时,对电流-电压变换放大部(5)的输出信号中所包含的干涉波形周期进行测量的信号提取部(7);以及基于信号提取部(7)所测量的各个周期算出物体(10)的位移、速度中的至少一方的运算部(8)。 | ||
搜索关键词: | 物理量 传感器 以及 测量方法 | ||
【主权项】:
一种物理量传感器,其特征在于,包括:向测定对象发射激光的半导体激光器;振荡波长调制单元,其使所述半导体激光器动作,以使得振荡波长连续地单调增加的第1振荡期间和振荡波长连续地单调减少的第2振荡期间中的至少一个反复存在;检测单元,其对含有干涉波形的电信号进行检测,该干涉波形是由于从所述半导体激光器发射的激光与从所述测定对象返回的返回光的自混合效应而产生的;信号提取单元,其在每次输入干涉波形时,对该检测单元的输出信号中所包含的所述干涉波形的周期进行测量;以及运算单元,其基于该信号提取单元所测量的各个周期算出所述测定对象的位移和速度中的至少一方。
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