[发明专利]用于远程等离子体源辅助的含硅膜沉积的方法和装置

摘要

本发明提供用于在形成太阳能电池期间沉积非晶和微晶硅膜的装置和方法。在一个实施例中，提供方法和装置以产生氢自由基并将氢自由基直接引导至处理室的处理区域中以与含硅前驱体反应而在衬底上进行膜沉积。在一个实施例中，氢自由基由远程等离子体源产生并被直接引导经过视线路径到达处理区域中，以使得氢自由基在到达处理区域之前的能量损失最小化。

主权项

一种用于沉积含硅膜的方法，其包括：远离处理室产生氢自由基；将所述氢自由基的流动引导至所述处理室的处理区域中，其中，衬底设置在所述处理区域中；和将含硅气体的流动引导至所述处理室的所述处理区域中，其中，所述氢自由基在到达所述处理室的所述处理区域之前不与所述含硅气体混合。