[发明专利]基板收纳容器

摘要

本发明提供一种基板收纳容器。设定基板临时载置片(4)的位置，使得在盖体(20)安装在容器主体(1)的基板取送开口(2)上，且圆盘状基板(W)推入至被里侧保持部(3)定位保持的位置上的状态时，在相对于圆盘状基板(W)的面垂直的方向上观察，基板临时载置片(4)与圆盘状基板(W)变得不重叠。由此，即使收纳在容器主体(1)内的圆盘状基板(W)因振动或者冲击等而弯曲，也没有与基板临时载置片(4)接触的担心，即使是被大直径化的圆盘状基板(W)也能够安全地进行收纳。

主权项

一种基板收纳容器，其具有：容器主体，用于以并列排列的状态收纳多个圆盘状基板；基板取送开口，为了向所述容器主体中取送所述圆盘状基板而形成在所述容器主体上；盖体，为了封闭所述基板取送开口而拆装自如地从外侧安装在所述基板取送开口上；里侧保持部，在从所述容器主体内的所述基板取送开口观察的里侧的区域中，将所述各圆盘状基板的外缘部定位保持；盖侧保持器，设置在所述盖体的内壁部上，且以将所述各圆盘状基板向所述里侧保持部侧推入的方式定位保持；和基板临时载置片，用于在所述盖体没有被安装在所述基板取送开口上的状态时，在所述基板取送开口的附近区域载置所述圆盘状基板，其特征在于，所述基板收纳容器设置有：基板载置部，用于在所述圆盘状基板没有被所述盖侧保持器推入的状态时，在从所述容器主体内的所述基板取送开口观察的里侧的区域中，载置所述圆盘状基板的外缘部附近；和基板返回机构，用于在被所述盖侧保持器推入的所述圆盘状基板成为不被所述盖侧保持器推入的状态时，使所述圆盘状基板返回至不被所述里侧保持部定位保持的位置上，设定所述基板临时载置片的位置，使得在所述盖体从所述基板取送开口被取下，且所述圆盘状基板不被所述里侧保持部定位保持的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板相互重叠，在所述盖体安装到所述基板取送开口上，且所述圆盘状基板推入至被所述里侧保持部定位保持的位置上的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板变得不重叠。