[发明专利]冷喷涂用喷嘴以及使用该冷喷涂用喷嘴的冷喷涂装置无效
| 申请号： | 201080066793.7 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102892926A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 深沼博隆 | 申请（专利权）人： | 等离子技术工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;B05B7/14 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 高龙鑫;谢雪闽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种冷喷涂用喷嘴，为了通过冷喷涂法有效地得到高品质的薄膜，所述冷喷涂用喷嘴不引起喷嘴阻塞，且与传统技法相比，可以经久地长时间连续使用。为达成此目的，采用了一种冷喷涂用喷嘴，所述冷喷涂用喷嘴是沿着工作气体从流入侧向流出侧流动的方向，顺序连通配置收敛部、狭口部、发散部以构成工作气体的流动路径的冷喷涂用缩放式喷嘴，其特征在于该发散部的内壁面是圆锥形，并且该内壁面的一部分或者全部由玻璃材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 喷涂 喷嘴 以及 使用 装置 | ||
【主权项】：
一种冷喷涂用喷嘴，所述冷喷涂用喷嘴是沿着工作气体从流入侧向流出侧流动的方向，顺序连通配置由收敛部、狭口部、发散部以构成工作气体的流动路径的冷喷涂用缩放式喷嘴，其特征在于，所述发散部的内壁面是圆锥形，并且该内壁面的一部分或者全部由玻璃材料构成。
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