[发明专利]用于制造芯片堆的方法以及用于执行该方法的载体有效

专利信息
申请号: 201080066893.X 申请日: 2010-05-20
公开(公告)号: CN103155146A 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: M.温普林格 申请(专利权)人: EV集团E·索尔纳有限责任公司
主分类号: H01L25/065 分类号: H01L25/065;H01L21/68
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 杜荔南;刘春元
地址: 奥地利圣*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 发明涉及一种用于制造芯片堆(31)的方法,具有以下方法流程:在载体(10)的载体侧(15)上施加尤其是介电的和/或可感光结构化的基本层(20),所述载体在其载体侧(15)上配备有起粘附作用的粘附区域(14)以及起较小粘附作用的支撑区域(11),其中基本层(20)最大程度全平面地至少施加在支撑区域(11)上,在基本层(20)上建造芯片堆(31),浇注芯片堆(31),将载体(10)从基本层(20)松脱开。此外本发明涉及一种用于执行该方法的载体。
搜索关键词: 用于 制造 芯片 方法 以及 执行 载体
【主权项】:
用于制造芯片堆(31)的方法,具有以下方法流程:‑在载体(10)的载体侧(50)上施加尤其是介电的和/或可感光结构化的或者可通过模压方法结构化的基本层(20),所述载体在其载体侧(15)上配备有起粘附作用的粘附区域(14)以及起较小粘附作用的支撑区域(11),其中基本层(20)最大程度全平面地至少施加在支撑区域(11)上,‑在基本层(20)上建造芯片堆(31),‑将载体(10)从基本层(20)松脱开。
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