[发明专利]涂覆玻璃基板的设备及方法

摘要

本发明涉及使用一种或多种液态原材料涂覆基板（15）的设备和方法，包括：至少一个雾化器（2），用于将一种或多种液态原材料雾化成微滴（3）；充电部件（4；32），用于在雾化期间或雾化之后对微滴（3）电性充电；以及沉积腔室（16），在所述沉积腔室（16）中微滴（3）沉积在基板（15）上，沉积腔室（16）设置有一个或多个电场，用于将电性充电的微滴（3）引导到基板（15）上。根据本发明，设置有这样的充电腔室（1），所述充电腔室布置在所述沉积腔室（16）的上游，并且设置有用于对该微滴（3）电性充电的充电部件（4）。

主权项

一种使用一种或多种液态原材料涂覆玻璃基板（15）的设备，所述设备包括：－至少一个雾化器（2），用于将所述一种或多种液态原材料雾化成微滴（3）；－充电部件（4；32），用于在雾化期间或雾化之后对所述微滴（3）电性充电；－沉积腔室（16），用于在所述玻璃基板（15）上提供涂层，所述沉积腔室（16）设置有一个或多个电场，用于朝向所述玻璃基板（15）引导电性充电的所述微滴（3），其特征在于，所述设备还包括：－充电腔室（1），所述充电腔室布置在所述沉积腔室（16）的上游，并且设置有充电部件（4），用于对所述微滴（3）电性充电。