[发明专利]硅的电磁铸造装置有效

专利信息
申请号: 201080068565.3 申请日: 2010-11-17
公开(公告)号: CN103038167A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 海老大辅;吉原光夫 申请(专利权)人: 胜高股份有限公司
主分类号: C01B33/02 分类号: C01B33/02;C30B29/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 吕琳;李浩
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明是能稳定地制造作为太阳能电池的基板材料所使用的多晶硅的装置,是具有无底冷却铸模(1)和加热用感应线圈(2),并将通过基于所述感应线圈的电磁感应加热进行熔融的硅降低到下方使其凝固的硅的电磁铸造装置,进而,是具有产生移行式等离子体电弧的等离子体焰炬且具备能与熔融硅(4)表面相向地构成的通过基于所述感应线圈的电磁感应进行发热的顶部加热器(3)的电磁铸造装置。本发明在并用等离子体加热制造作为太阳能电池的基板材料的高品质的多晶硅铸锭时,能在最终凝固位置不产生裂缝地稳定地进行制造。
搜索关键词: 电磁 铸造 装置
【主权项】:
一种硅的电磁铸造装置,具有:轴方向的一部分在周方向上被分割为多个的导电性的无底冷却铸模、以及环绕该铸模的感应线圈,所述硅的电磁铸造装置将通过基于所述感应线圈的电磁感应加热进行熔融的硅降低到下方使其凝固,所述硅的电磁铸造装置的特征在于,作为加热源,还具有在所述冷却铸模的上方能升降地设置的、用于产生移行式等离子体电弧的等离子体焰炬,而且,具备能与所述冷却铸模内的熔融硅表面相向地构成的、通过基于所述感应线圈的电磁感应进行发热的顶部加热器。
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