[发明专利]定向重结晶的石墨烯生长衬底有效
| 申请号： | 201080069270.8 | 申请日： | 2010-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103124691A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·A·叶戈 | 申请（专利权）人： | 英派尔科技开发有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;C03B29/00;C23C16/26;H01L21/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一般地描述了形成适于生长石墨烯的衬底的工艺和/或方法，包括：在准备好的衬底上形成金属层；在金属层上形成电介质材料层；以及然后对金属层进行定向重结晶以形成重结晶金属层，所述重结晶金属层适于生长具有约15微米或更大长度的石墨烯单层。 | ||
| 搜索关键词： | 定向 重结晶 石墨 生长 衬底 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：在衬底上形成金属层；在金属层上形成电介质材料层；以及对金属层进行定向重结晶以形成重结晶金属层，所述重结晶金属层适于生长石墨烯单层，其中所述石墨烯单层具有约15微米或更大的长度。
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