[发明专利]分面反射镜装置有效
| 申请号： | 201080069330.6 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN103140782B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | J.哈特杰斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/09 | 分类号： | G02B5/09;G02B5/08;G03F7/20;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分面反射镜装置，其包含分面元件和支撑元件，该支撑元件支撑所述分面元件。所述分面元件包含弯曲的第一支撑部分，而支撑元件包含第二支撑部分，第二支撑部分形成与第一支撑部分在接触区域中接触的支撑边缘，以支撑分面元件。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种分面反射镜装置，其包含：‑分面元件，和‑支撑元件；‑所述支撑元件支撑所述分面元件；‑所述分面元件包含弯曲的第一支撑部分；‑所述支撑元件包含第二支撑部分；‑所述第二支撑部分形成支撑边缘，该支撑边缘限定大体线形接触区域，以支撑所述分面元件，其中，所述支撑边缘形成于在所述支撑元件内界定凹槽的壁的末端与所述支撑元件的平面上表面的相交处，所述平面上表面面向所述分面元件。
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