[发明专利]光声传感器

摘要

总地描述了一种光声气体传感器、系统和方法。在一些示例中，光声气体传感器包括光栅和操作为波长选择光调制器的MEMS反射镜阵列的组合，以及布置在气体样品区域周围的环形声传感器阵列。所述基于MEMS的光调制器可以适用于提供灵活的波长选择性，使得可以检测到大量的化合物。所述声传感器的环形阵列可以适用于测量光声产生的声信号，而不需要气体传感器的光声单元的谐振增强。在一些示例中，唯一的不相关确定性信号可以用于调制感兴趣的每一个波长。可以使用允许多个光波长的吸收谱的同时测量并且拒绝不想要的声噪声的信号处理。

主权项

一种光声传感器，包括：光调制器，配置为调制输入光束，并且产生被导引至样品区域的调制光；声传感器的阵列，设置在所述样品区域的周围，所述声传感器阵列的每一个声传感器与所述样品区域实质上等距，其中每一个声传感器适用于响应于在所述样品区域中检测到的声能量来产生信号；以及控制器，耦合至所述声传感器，并且配置为基于由所述声传感器产生的信号来检测在所述样品区域中存在的一种或多种气体。