[发明专利]一种石英玻璃坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201110001348.9 | 申请日： | 2011-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102061515A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王春来;周勇;渥美崇 | 申请（专利权）人： | 杭州先进石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 黄美娟;王兵 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英玻璃坩埚，包括坩埚基体，所述的坩埚基体覆盖有外表面，所述的外表面为坩埚基体的壁部外表面层或坩埚基体的全部外表面层，所述壁部外表面层或全部外表面层的理论厚度为0.2～3.0mm，由掺杂含有铝元素的天然石英砂熔融制备得到，所述铝元素来自于氢氧化铝和/或铝盐，所述铝元素的质量以可生成的氧化铝的质量计算，所述掺杂有铝元素的天然石英砂中铝元素的质量含量为100～1000ppm。本发明提供的石英玻璃坩埚在提拉单晶硅的使用过程中不易发生变形，坩埚使用寿命较长，可满足较大直径坩埚长时间使用的要求，能够获得比较稳定的拉晶进程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种石英玻璃坩埚，其特征在于所述石英玻璃坩埚包括坩埚基体，所述的坩埚基体覆盖有外表面，所述的外表面为坩埚基体的壁部外表面层或坩埚基体的全部外表面层，所述壁部外表面层或全部外表面层的理论厚度为0.2～3.0mm，由掺杂含有铝元素的天然石英砂熔融制备得到，所述铝元素来自于氢氧化铝和/或铝盐，所述铝元素的质量以可生成的氧化铝的质量计算，所述掺杂含有铝元素的天然石英砂中铝元素的质量含量为100～1000ppm。
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