[发明专利]一种光学识别系统有效
申请号: | 201110002151.7 | 申请日: | 2011-01-06 |
公开(公告)号: | CN102593011A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 陈文;于丽娜 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/66;G02B27/10 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;安利霞 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种光学识别系统,包括:第一检测单元,获取工件的像,并将像入射到第一光路;第一光路包括:第一中继镜,将入射的第一像形成放大的像;第一切换装置,改变通过自身的放大的第一像的方向;第一分光镜,对入射到自身的像所对应的光束进行折射或反射后入射到探测器;第二检测单元,将像入射到第二光路;第二光路包括:第二中继镜,第二切换装置和第一反射镜。应用所提供的技术方案,对应于每一个检测单元均有一组光路,在该光路中,通过中继镜、切换装置、分光镜和/或反射镜等将检测单元处的像入射到探测器中,对工件进行多位置多倍率的实时检测,可用于粘片机、倒装焊或引线键合机上芯片和引线框架的识别,检测速度快且制作成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 识别 系统 | ||
【主权项】:
一种光学识别系统,其特征在于,包括:第一检测单元,用于获取工件的像,并将像入射到第一光路;第一光路中包括:第一中继镜,用于将入射的第一像形成放大的像;第一切换装置,用于实时切换以改变通过自身的所述放大的第一像的方向;第一分光镜,用于对入射到自身的像所对应的光束进行折射或反射后入射到探测器;以及,第二检测单元,用于获取工件的第二像,并将像入射到第二光路;第二光路中包括:第二中继镜,用于将入射的第二像形成放大的像;第二切换装置,用于实时切换,能够改变通过自身的所述放大的第二像的方向;第一反射镜,用于将入射到自身的像反射到第一分光镜;该像在第一分光镜处改变方向入射到探测器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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