[发明专利]集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用有效
| 申请号： | 201110003989.8 | 申请日： | 2011-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102103263A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;李四华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及其在波长选择开关中的应用，其集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器15由单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器14阵列化排布获得。单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器14由下电极结构11，中间电极结构12和上电极结构13共三个独立结构构成。其三个独立结构又由以下功能部件构成：悬臂梁1、台阶下电极2、台阶下电极引线锚点3、X轴转动方向基底镜面4、X轴转动方向基底镜面的限位凸点5、X轴转动方向基底镜面的限位平面6、Y轴信号衰减方向的可动上镜面7、Y轴信号衰减方向的固定上镜面8、Y轴信号衰减方向的镜面支撑锚点9、Y轴信号衰减方向的镜面支撑锚点10。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光栅 调制 衰减器 阵列 驱动器 应用 | ||
【主权项】：
一种集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器，其特征在于所述的阵列驱动器是由单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器阵列化排布而成；单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器由下电极结构，中间电极结构和上电极结构共三个独立部分依次键合构成。
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