[发明专利]基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用有效
| 申请号： | 201110003994.9 | 申请日： | 2011-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102129125B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李四华;吴亚明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B6/293;B81B5/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器17由单个堆叠式二轴微镜驱动器16阵列化排布而成。单个堆叠式二轴微镜驱动器16由下电极结构13，中间电极结构14和上电极结构15共三个独立部件构成。其中三个独立部件由以下结构构成弯曲悬臂梁1、扭转悬臂梁2、扭转悬臂梁3、台阶下电极4、X轴转动方向基底镜面的限位平面5、台阶下电极的引线锚点6、X轴转动方向基底镜面7、X轴转动方向基底镜面的限位凸点8、Y轴转动方向上镜面支撑锚点9Y轴转动方向上镜面10，Y轴转动方向上镜面的限位凸点11、Y轴转动方向上镜面的电极引线锚点12。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 堆叠 式二轴微镜 阵列 驱动器 应用 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器，其特征在于所述的堆叠式二轴微镜阵列驱动器是由单个堆叠式二轴微镜驱动器阵列化排布而成，单个堆叠式二轴微镜驱动器是由下电极结构、中间电极结构和上电极结构三个独立功能的部件依次键合构成；所述的下电极结构包括台阶下电极、X轴转动方向基底镜面的限位平面和台阶下电极的引线锚点，其整体作为施加电压驱动的下电极结构；其中，限位平面分别与台阶下电极和下电极的引线锚点相连接；所述的中间电极结构包括弯曲悬臂梁、X轴转动方向基底镜面和X轴转动方向基底镜面的限位凸点，其整体作为施加电压驱动的中间电极结构；所述的上电极结构包括左扭转悬臂梁、右扭转悬臂梁、Y轴转动方向的上镜面、Y轴转动方向上镜面的支撑锚点、Y轴转动方向上镜面的限位凸点和Y轴转动方向上镜面的电极引线锚点，其整体作为施加电压驱动的上电极；其中左扭转悬臂梁和右扭转悬臂梁排列在Y轴转动方向上镜面支撑锚点的两侧，支撑Y轴转动方向的上镜面，同时Y轴转动方向上镜面的限位凸点防止器件结构的破坏，Y轴转动方向上镜面的电极引线锚点作为整个上电极结构的固定引线连接。
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