[发明专利]一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法无效
| 申请号： | 201110005219.7 | 申请日： | 2011-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN102116898A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 周自刚;邱荣;唐金龙;李晓红 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/125;G02B6/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法。本发明应用离子交换技术，在玻璃基底形成半球型聚焦微透镜阵列，进而利用飞秒激光诱导玻璃基底的内部发生折射率变化，形成微米宽度的光波导功分器，从而实现将微透镜和光波导功分器两种基本微光学元件集成在一块玻璃基底上，实现微透镜与光波导的对准和耦合，生成具有最佳性能的微光学集成器件，填补了本领域技术空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 波导 功分器 集成 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微透镜与光波导功分器集成元件，其特征在于，包括：玻璃基底；半球型微透镜阵列，所述半球型微透镜阵列通过离子交换形成于所述玻璃基底表面；光波导功分器，其通过飞秒激光刻写于所述玻璃基底内部形成光波导。
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