[发明专利]观察单元用控制装置、控制程序及控制方法以及观察系统无效
| 申请号： | 201110005908.8 | 申请日： | 2011-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102122064A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 井上贵博;山中义太郎 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02B21/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种观察单元用控制装置、控制程序及控制方法以及观察系统，能够减小观察单元中从照明装置等热源传递的热对试样的影响。本发明涉及的控制装置是控制具备观察试样并取得该试样的观察像的观察装置和在该观察装置进行试样观察时照明该试样的照明装置的观察单元(100)的控制装置，具备：第一控制部，在观察单元(100)设定为搜索模式时控制照明装置以调整该照明装置的照度；以及第二控制部，在观察单元(100)设定为缩时观察模式时控制照明装置以调整该照明装置的照度。此处，通过由第一控制部调整照明装置的照度对该照明装置设定的照度低于通过由第二控制部调整照明装置的照度对该照明装置设定的照度。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 单元 控制 装置 控制程序 方法 以及 系统 | ||
【主权项】：
一种控制装置，用于控制观察单元，该观察单元具备观察试样并取得该试样的观察像的观察装置和在该观察装置进行试样观察时照明该试样的照明装置，该控制装置的特征在于，具备：第一控制部，在所述观察单元设定为搜索模式时控制所述照明装置以调整该照明装置的照度，该搜索模式使用观察装置搜索决定要由该观察装置取得观察像的一个或多个试样，将针对决定的每个试样发生变化的试样信息存储到存储器中；以及第二控制部，在所述观察单元设定为观察模式时控制所述照明装置以调整该照明装置的照度，该观察模式基于所述存储器中存储的所述试样信息，由观察装置观察要取得所述观察像的一个或多个试样并取得该试样的观察像；通过由所述第一控制部调整照明装置的照度而对该照明装置设定的照度低于通过由所述第二控制部调整照明装置的照度而对该照明装置设定的照度。
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