[发明专利]光纤束分光的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统

摘要

本发明提出了一种光纤束分光的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统。该垂直入射宽带光谱仪包括：光源、光纤束、光探测器、偏振单元，光纤束包括入射光纤子束、出射光纤子束；入射光纤子束具有第一端口组和第二端口组，出射光纤子束具有第三端口组和第四端口组，入射光纤子束的第二端口组和出射光纤子束的第三端口组在同一横截面上。该光谱仪通过采用光纤束分光和增加偏振元件，提高了光谱仪光通量效率，增强了其对偏振光的控制能力。

主权项

一种光纤束分光的垂直入射宽带偏振光谱仪，其特征在于，包括：光源、光纤束、偏振单元和光探测器，所述光纤束包括入射光纤子束、出射光纤子束，所述入射光纤子束和所述出射光纤子束均包含至少一根光纤或光纤芯；所述入射光纤子束具有第一端口组和第二端口组，所述出射光纤子束具有第三端口组和第四端口组，所述入射光纤子束的第二端口组和所述出射光纤子束的第三端口组在同一横截面上；所述入射光纤子束，用于引导从所述第一端口组入射的所述光源发射的探测光，从所述第二端口组出射，经所述偏振单元后入射样品表面；所述出射光纤子束，用于引导经所述偏振单元后从所述第三端口组入射的所述样品表面的反射光，从所述第四端口出射，入射所述光探测器；所述偏振单元，位于所述同一横截面和所述样品之间，用于使从所述第二端口组出射的探测光形成偏振光；并检偏从所述样品表面的反射光。