[发明专利]用于将源材料引入薄膜气相沉积设备的供给系统及工艺有效
| 申请号： | 201110007599.8 | 申请日： | 2011-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102121094A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | E·J·利特尔;M·W·里德;C·拉思韦格;M·J·帕沃尔 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;谭祐祥 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将源材料引入薄膜气相沉积设备的供给系统及工艺。供给系统(100)和相关工艺构造成用以将测定用量的源材料连续地供给到气相沉积设备(60)中，其中，源材料升华且作为薄膜沉积在基底(14)上。该系统包括批量材料料斗(102)，以及设置成用以从料斗接收源材料的上用量杯(104)。下用量杯(106)设置在真空锁定腔室(108)中，以从上用量杯(104)接收测定用量的源材料。转移机构(132)设置在真空锁定腔室的下方，以从下用量杯(106)接收测定用量的源材料，且将源材料转移至下游沉积头部(62)，同时隔离沉积头部(62)内的沉积状态和升华的源材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 引入 薄膜 沉积 设备 供给 系统 工艺 | ||
【主权项】：
一种用于连续地供给测定用量的源材料至气相沉积设备(60)的供给系统(100)，其中，所述源材料升华且作为薄膜沉积到基底(14)上，所述系统包括：批量材料料斗(102)；上用量杯(104)，其设置成用于从所述料斗接收源材料；下用量杯(106)，其设置在真空锁定腔室(108)中以从所述上用量杯接收测定用量的源材料；以及转移机构(132)，其设置在所述真空锁定腔室下方以从所述下用量杯接收所述测定用量的源材料，所述转移机构构造成用于将所述源材料转移至下游沉积头部(62)，同时隔离所述沉积头部内的沉积状态并且阻挡升华源向上游扩散到所述供给系统。
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