[发明专利]半色调掩模、用于制造它的方法及使用它的平板显示器

摘要

具有透明基板、半透光层和光屏蔽层的半色调掩模，用于制造它的方法，以及使用它的平板显示器。该半色调掩模被应用到多个光刻工艺循环中，由此缩短用以制造掩模所占用的时间和减少掩模生产成本。由于所需图案根据氧化铬(CrxOy)膜的均匀性即在溅射中的均匀性、经过本发明的半色调掩模的半透光层来均匀地形成，所以半色调掩模在尺寸上不受限制。

主权项

一种半色调掩模，包括：透明基板；光屏蔽层，形成在透明基板上，具有完全透射指定波长范围内照射光的透光部分和完全屏蔽指定波长范围内照射光的光屏蔽部分；以及半透光部分，部分透射指定波长范围内的照射光，并由选自于包括CrxOy、CrxCoy、CrxCoyNz和SixNy的组中的一个制成，其中x、y和z是自然数并指示相应化学元素的数量。