[发明专利]基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置

摘要

一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特点在于其构成包括激光器，沿该激光器输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜、针孔、透镜、分光棱镜、光阑和球面反射镜，所述的针孔固定在所述的显微物镜的焦点位置处，所述的透镜到针孔的距离恰好为透镜的焦距时，透镜所处的位置称为平衡位置，所述的透镜具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜作为合作目标固定在待测物体的表面上，在所述的分光棱镜的相干光输出面外设有成像装置。本发明将主要光路集成于单块分光棱镜中，结构简单；实现了被测物体振动监测与测量光路变化监测的分离；并且使用球面反射镜作为合作目标，可实现对物体三维振动测量的目的。

主权项

一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特征在于其构成包括激光器(1)，沿该激光器(1)输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜(2)、针孔(3)、透镜(4)、分光棱镜(5)、光阑(6)和球面反射镜(7)，所述的针孔(3)固定在所述的显微物镜(2)的焦点位置处，所述的透镜(4)到针孔(3)的距离恰好为透镜(4)的焦距时，透镜4所处的位置称为平衡位置，所述的透镜(4)具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜(7)作为合作目标固定在待测物体(8)的表面上，所述的分光棱镜(5)的分光面与所述的光轴成45°，该分光面将从入射面进入的激光分为透射光和反射光，与入射面相对的一面外围镀有全反膜(52)，中间留有通光孔(53)，所述的透射光中穿过所述的通光孔(53)和光阑(6)并到达球面反射镜(7)的光作为测量光，该分光棱镜(5)的反射面(51)镀有全反膜，所述的反射光射向一面(51)称为反射面，镀有全反膜，所述的反射光经反射面(51)反射后作为参考光，与反射面(51)相对的一面为相干光输出面，在该相干光输出面外设有成像装置(9)。