[发明专利]微电子机械独立下拉电极式微波天线及其制备方法无效
申请号: | 201110009358.7 | 申请日: | 2011-01-17 |
公开(公告)号: | CN102176534A | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 廖小平;王德波 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01Q1/36 | 分类号: | H01Q1/36;H01Q1/38;H01Q3/01;B81C1/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 210096*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 微电子机械独立下拉电极式微波天线及其制备方法是一种结构非常简单,操作容易,方向性可调,且便于集成的微电子机械微波天线及其制备方法。该微电子机械微波天线以砷化镓为衬底,在衬底上设计有微波天线馈线、微波天线辐射元,MEMS悬臂梁,悬臂梁桥墩,悬臂梁下拉电极,聚酰亚胺牺牲层,SiN介质层:微波天线馈线接收到待发射的微波信号,通过微波天线辐射元和八个相同的MEMS悬臂梁将微波信号发射出去。根据设计要求可以单独的对八个悬臂梁下拉电极施加不同的直流偏置电压,产生等效的静电力,引起对应的MEMS悬臂梁发生不同程度的形变,从而调节微波天线的方向性。 | ||
搜索关键词: | 微电子 机械 独立 下拉 电极 式微 天线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种微电子机械独立下拉电极式微波天线,其特征在于该微波天线以砷化镓为衬底,在衬底(8)上设计有微波天线馈线(1)、微波天线辐射元(2),MEMS悬臂梁(3),悬臂梁桥墩(4),悬臂梁下拉电极(5),聚酰亚胺牺牲层(6),SiN介质层(7):微波天线采用的是八个相同的MEMS悬臂梁和八个对应相同的下拉电极,通过独立驱使八个相同的MEMS悬臂梁发生不同程度的形变可以实现调节微波天线方向性的目的;在GaAs衬底(8)上设有天线辐射元(2),在天线辐射元(2)上设有悬臂梁桥墩(4),在悬臂梁桥墩(4)上设有MEMS悬臂梁(3),在MEMS悬臂梁(3)下面设有悬臂梁下拉天极(5),在悬臂梁下拉电极(5)上覆有SiN介质层(7),在MEMS悬臂梁(3)和SiN介质层(7)之间覆有聚酰亚胺牺牲层(6)。
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