[发明专利]移动样品形貌的测量方法及其装置有效
| 申请号： | 201110009368.0 | 申请日： | 2011-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN102538687A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 郭世炫;王伟诚 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种移动样品形貌的测量方法及其装置。该装置提供了一种可随着移动中的待测样品而移动的测量模块，以缩小移动的待测样品与测量模块之间的相对速度，使测量模块及时取得同一位置的足够光强信号，以得出待测样品的形貌或厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 样品 形貌 测量方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种移动样品形貌的测量装置，其特征在于，应用于一输送装置，该移动样品形貌的测量装置包括：一控制装置；一线性移动控制模块，其电性连接于该控制装置；至少一第一线性移动装置，其设置于该输送装置的上方，该第一线性移动装置电性连接于该线性移动控制模块；一第一测量控制模块，其电性连接于该控制装置；以及至少一第一测量模块，其装设于该第一线性移动装置，该第一测量模块以光学传输连接至该第一测量控制模块。
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