[发明专利]光刻胶喷嘴更换辅助定位半自动固定装置有效
| 申请号： | 201110021357.4 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102269933A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体领域，具体为一种用以在半导匀胶显影设备中光刻胶喷嘴更换辅助定位半自动固定装置，用以在多光刻胶喷嘴手动更换时的辅助定位和半自动固定，达到更换方便，适应多喷嘴更换，定位准确，固定结实的优点。该装置设有光刻胶喷嘴的托架固定系统和光刻胶喷嘴系统，光刻胶喷嘴系统安装于光刻胶喷嘴的托架固定系统上；光刻胶喷嘴的托架固定系统设有气缸托架和喷嘴托架，气缸托架和喷嘴托架相连，在气缸托架上固定有气爪，在气爪的动作部分安装有定位爪；光刻胶喷嘴系统设有喷嘴体、喷嘴和导向固定卡柱，喷嘴和导向固定卡柱平行，喷嘴和导向固定卡柱固定在喷嘴体上。采用本发明，可解决现有技术中存在的更换费时费力、影响产能等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 喷嘴 更换 辅助 定位 半自动 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷嘴更换辅助定位半自动固定装置，其特征在于：该装置设有光刻胶喷嘴的托架固定系统和光刻胶喷嘴系统，光刻胶喷嘴系统安装于光刻胶喷嘴的托架固定系统上；光刻胶喷嘴的托架固定系统设有气缸托架和喷嘴托架，气缸托架和喷嘴托架相连，在气缸托架上固定有气爪，在气爪的动作部分安装有定位爪；光刻胶喷嘴系统设有喷嘴体、喷嘴和导向固定卡柱，喷嘴和导向固定卡柱平行，喷嘴和导向固定卡柱固定在喷嘴体上。
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