[发明专利]固化膜的制造方法、感光性树脂组合物、固化膜、有机EL显示装置和液晶显示装置有效
| 申请号： | 201110023374.1 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102141729A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 安藤豪;杉原幸一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/039;G03F7/004;G02F1/1333;H01L27/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王灵菇;白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了能以高感度且稳定的感度制造且通过狭缝涂布来制造接触孔的图案形成性能和ITO溅射耐受性、耐热透明性优良的固化膜的制造方法。该固化膜的制造方法包含下述工序：使感光性树脂组合物的温度达到10℃以下的工序、将感光性树脂组合物狭缝涂布到基板上的工序、从所涂布的感光性树脂组合物中除去溶剂的工序、将除去了溶剂的感光性树脂组合物利用活性光线进行曝光的工序、在室温下经过45秒以上的工序、利用水性显影液进行显影的工序、进行热固化的工序；感光性树脂组合物含有下述成分：(成分A)含有具有酸基被酸分解性基团保护而成的残基的结构单元、具有交联基的结构单元、具有羧基和/或酚性羟基的结构单元的共聚物、(成分B)光产酸剂和(成分C)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 制造 方法 感光性 树脂 组合 有机 el 显示装置 液晶 | ||
【主权项】：
一种固化膜的制造方法，其特征在于，按照如下顺序包含下述工序：(1)使感光性树脂组合物的温度达到10℃以下的低温处理工序、(2)将所述感光性树脂组合物狭缝涂布到基板上的涂布工序、(3)从所涂布的所述感光性树脂组合物中除去溶剂的溶剂除去工序、(4)对除去了溶剂的所述感光性树脂组合物利用活性光线进行曝光的曝光工序、(5)在室温下经过45秒以上的工序、(6)利用水性显影液进行显影的显影工序、和(7)进行热固化的后烘烤工序；且所述感光性树脂组合物含有下述成分：成分A：至少含有(a1)具有酸基被酸分解性基团保护而成的残基的结构单元、(a2)具有交联基的结构单元、(a3)具有羧基和/或酚性羟基的结构单元的共聚物、成分B：光产酸剂、和成分C：溶剂。
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