[发明专利]干涉仪阶梯扫描系统和方法有效
| 申请号： | 201110023590.6 | 申请日： | 2011-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN102192784A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 大卫·B·约翰逊;安东尼·邦德 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 宋鹤 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及干涉仪阶梯扫描系统和方法。在一些实施例中，阶梯扫描红外(IR)光谱仪干涉仪中的路径长度差(延迟)被在AC伺服机构(伺服)控制下保持阶梯变化之后的第一时间段，并且在DC伺服控制下保持第一时间段之后的第二时间段。在DC伺服控制时间段期间和/或之后获取数据。特别是在诸如高速时间分辨光谱仪(TSR)的快速时间缩放应用中，在数据获取之前停止AC伺服控制允许限制否则可能影响感兴趣的信号的抖动频率噪声。反射镜位置控制电路控制反射镜位置的步进以及将反射镜伺服控制从AC转换到DC。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 阶梯 扫描 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：使得阶梯扫描干涉仪中的光学路径长度差从第一值步进到第二值；使得干涉仪反射镜在AC伺服控制下抖动持续第一时间区间，以使得在第二阶梯值处的路径长度差稳定；对于接着所述第一时间区间的第二时间区间，将所述反射镜在AC伺服控制下的所述抖动禁用，并且使得能够进行干涉仪反射镜位置DC伺服控制；以及在将所述反射镜在AC伺服控制下的抖动禁用的时间执行干涉仪采样数据收集。
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