[发明专利]一种从含有移相误差的干涉图中恢复相位的方法

摘要

本发明提供一种从含有移相误差的干涉图中恢复相位的方法。本发明使用通用的移相干涉仪测试被测件，在干涉图中引入线性载频，操作干涉仪采集到一组移相干涉图；对移相干涉图上的数据进行重新排列得到一幅新图像并对其进行快速傅里叶变换得到其频谱，之后对频谱进行滤波，即得到相位谱并排除了误差。对相位谱进行反傅里叶变换后，通过反正切计算和解包裹运算得到扩展的恢复相位，将扩展相位恢复到原始大小后，即可以得到被测相位。本发明从少量（例如四幅）移相干涉图中即能够排除移相量误差造成的影响，恢复出准确的被测相位，以实现在非理想的测试环境和仪器条件下提升移相干涉仪测量精度的目的。

主权项

一种从含有移相误差的干涉图中恢复相位的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、使用通用的移相干涉仪测试被测件，通过调整干涉仪的参考镜或测试件的倾斜量在干涉图中引入线性载频，至干涉图中出现10根或更多的准平行直条纹时，操作干涉仪采集到一组移相干涉图，该组移相干涉图包括集2π/δ幅，其中δ为干涉仪移相步长；步骤2、对上述采集到的移相干涉图上的数据进行重新排列得到一幅新图像；步骤3、对上述新图像进行快速傅里叶变换得到其频谱，之后对频谱进行滤波得到相位谱并排除了误差；步骤4、从相位谱中恢复扩展的相位，即对相位谱进行反傅里叶变换后，通过反正切计算和解包裹运算得到扩展的恢复相位；步骤5、将扩展相位恢复到原始大小，从而得到被测相位。