[发明专利]一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗有效
| 申请号： | 201110024487.3 | 申请日： | 2011-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102103968A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 蒙峻;张军辉;杨伟顺;罗成;万玉琴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/301 | 分类号： | H01J37/301 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人： | 张晋 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开一种设置于离子束流处理装置中束流的终端，能使束流处理装置的真空环境与大气环境相隔离，同时能使束流穿过的隔离窗。本发明的这种隔离窗是在粒子束的大气出口处用支承装置设置有真空隔离窗，其支承装置中固定设置有两个用高分子材料制成的薄膜，在两个薄膜间形成一个可抽真空的区域，在第一薄膜的内表面外和第二薄膜的外表面外还分别设置有用高分子材料制成的网状支承物，两个薄膜间的可抽真空区域与真空泵连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粒子束 能够 通过 非金属 真空 隔离 | ||
【主权项】：
一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗，在粒子束的大气出口处用支承装置设置有真空隔离窗，其特征是在支承装置中固定设置有两个用高分子材料制成的薄膜，在两个薄膜间形成一个可抽真空的区域，其中第一薄膜外表面与主真空系统接触，第二薄膜的外表面与非真空环境接触，第一薄膜的内表面外和第二薄膜的外表面外还分别设置有用高分子材料制成的网状支承物，两个薄膜间的可抽真空区域与真空泵连接，在作业时两膜窗间的真空度为0.5Pa～1.5Pa。
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