[发明专利]多级高精度微位移传感器探头有效
| 申请号： | 201110025009.4 | 申请日： | 2011-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN102175159A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王欣;谢亮;鞠昱;刘宇;漆晓琼;孙可;满江伟;袁海庆;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多级高精度微位移传感器探头，其中包括：一光纤束；一光纤束固定保护金属套，该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体，在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔，所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 | ||
| 搜索关键词： | 多级 高精度 位移 传感器 探头 | ||
【主权项】：
一种多级高精度微位移传感器探头，其中包括：一光纤束；一光纤束固定保护金属套，该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体，在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔，所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。
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